XPS-7半导体材料气体测试仪规格：
型号 | XPS-7 |
检测原理 | 定电位电解式 |
检测气体对象 | 臭氧 |
检测范围 | 0～10ppm |
分辨率 | 0.01ppm |
指示精度 | FS±10%以内 |
报警模式 | 2段报警方式 |
报警方式 | 蜂鸣器（间歇音）、报警灯闪烁 |
应答时间 | 60秒以内（60%应答） |
电源 | 5号碱性干电池4节或AC 变压器 |
电池使用时间 | 连续12小时以上 |
外型尺寸 | W762×H150×D128（除去突起物） |
检测方式 | 泵吸式 |
使用温度范围 | 0℃～40℃ |
重量 | 约1.3kg |
附件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张 |
选购件 | AC 变压器、传感器 通电台、数据收集配套元件 |
XPS-7对象气体一览表 | ||||||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm | |||
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